发明名称 |
一体式高精度三轴磁传感器 |
摘要 |
一种一体式高精度三轴磁传感器,包括四个磁测量单元、信号输出和偏置电极、平面内聚集器、四个磁变轨聚集器、四个凹坑以及基底,所述平面聚集器采用自身对称式结构并位于基底的中间位置处,所述四个磁变轨聚集器在平面聚集器的四面呈对称状分布,每个所述磁变轨聚集器均位于一个凹坑中;每个磁测量单元均包括用两个GMR敏感元件和两个GMR参考元件构成的惠斯通电桥。本发明具有结构简单紧凑、体积小、制造方便、制作成本低廉、灵敏度高等优点。 |
申请公布号 |
CN103116143A |
申请公布日期 |
2013.05.22 |
申请号 |
CN201310023615.1 |
申请日期 |
2013.01.22 |
申请人 |
中国人民解放军国防科学技术大学 |
发明人 |
田武刚;赵建强;胡佳飞;张琦;陈棣湘;罗诗途;潘孟春;李文印 |
分类号 |
G01R33/09(2006.01)I |
主分类号 |
G01R33/09(2006.01)I |
代理机构 |
湖南兆弘专利事务所 43008 |
代理人 |
赵洪;周长清 |
主权项 |
一种一体式高精度三轴磁传感器,其特征在于:包括四个磁测量单元(1)、信号输出和偏置电极、平面聚集器(2)、四个磁变轨聚集器(3)、四个凹坑(4)以及基底(10),所述平面聚集器(2)采用自身对称式结构并位于基底(10)的中间位置处,所述四个磁变轨聚集器(3)在平面聚集器(2)的四面呈对称状分布,每个所述磁变轨聚集器(3)均位于一个凹坑(4)中;每个磁测量单元(1)均包括用两个GMR敏感元件(8)和两个GMR参考元件(7)构成的惠斯通电桥。 |
地址 |
410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院 |