发明名称 含铁颗粒的有机卤素化合物的分解剂及其制造方法
摘要 提供无需含有铜的由铁颗粒构成且具有充分分解有机卤素化合物能力的分解剂及其制造方法。一种有机卤素化合物的分解剂,其为包含由铁和氧化铁组成的铁颗粒的有机卤素化合物的分解剂,其中,铁颗粒具有在下述蚀刻条件下进行两次离子束蚀刻时在铁颗粒的最表面层中金属铁的含量为15质量%以上的值,蚀刻条件为腔室内的真空度:2.0×10-2Pa、离子枪的加速电压:10kV、发射电流:10mA、蚀刻时间:14秒。
申请公布号 CN103119119A 申请公布日期 2013.05.22
申请号 CN201180045787.8 申请日期 2011.09.14
申请人 同和环保再生事业有限公司 发明人 上原大志
分类号 C09K3/00(2006.01)I;B09C1/02(2006.01)I;B09C1/08(2006.01)I;B22F1/00(2006.01)I;C02F1/58(2006.01)I;C09K17/02(2006.01)I 主分类号 C09K3/00(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种有机卤素化合物的分解剂,其为包含由铁和氧化铁组成的铁颗粒的有机卤素化合物的分解剂,其中,铁颗粒具有在下述蚀刻条件下进行两次离子束蚀刻时在铁颗粒的表面层中金属铁的含量为15质量%以上的值,蚀刻条件为腔室内的真空度:2.0×10‑2Pa、离子枪的加速电压:10kV、发射电流:10mA、蚀刻时间:14秒。
地址 日本东京都