用来收集和回收沉积材料的薄膜沉积设备的栅板系统

摘要

在薄膜沉积设备中对材料进行收集回收的装置，特征在于元件（3）能截获在沉积过程中材料的浪费部分。这些元件：布置在各模块（1、5）中，根据沉积腔室的形状可组合成多种构造；依据待回收的材料，由于机电驱动器（4）、机械传动系统（6、10、15a、15b）、在驱动器（4）与沉积过程的软件/面板控制器间的电子接口（9）而回转从而使元件转动自动化；是可拆除的；能与所收集材料分离。这些元件具体地可以是栅板（3），竖向设置在每一模块（1、5）中，由复合材料制成，该材料特征是金属材料或氧化铝（两者都适于超高真空条件）的芯部、和两个表面聚合物层，表面聚合物层对所选芯部具有低粘着力因此能被容易地去除，同时耐受沉积腔室的温度-压力条件。

主权项

用于在薄膜沉积设备中对材料进行收集和回收的装置，其特征在于，元件（3）能够截获来自于沉积过程的材料的浪费部分，所述元件：布置在各个模块（1、5）中，能够根据沉积腔室的形状组合成多种构造；依据待回收的材料，借助于如下构件而回转：机电驱动器（4）；机械传动系统（6、10、15a、15b）；在驱动器（4）与沉积过程（9）的软件/面板控制器之间的电子接口（9），从而使所述元件的转动自动化；是可拆除的；能够与所收集的材料分离。