发明名称 High performance semi-conductor element with two stage doping profile
摘要 <p>Die Anmeldung betrifft ein Leistungshalbleiterbauelement (1) mit einem pn- Übergang (4), mit einem Grundkörper (2) erster Basisleitfähigkeit, einem horizontal mittig in dem Grundkörper angeordneten wannenförmigen Gebiet (10) zweiter Leitfähigkeit mit einem ersten zweistufigen Dotierungsprofil (100) und mit einer erster Eindringtiefe (102) von der ersten Hauptfläche (6) in den Grundkörper (2) hinein. Weiterhin weist dieses Leistungshalbleiterbauelement (1) eine, zwischen dem wannenförmigen Gebiet (10) und seinem Rand angeordnete, Randstruktur aus einer Mehrzahl von Feldringen (20) mit einstufigem Dotierungsprofil, zweiter Leitfähigkeit und zweiter Eindringtiefe auf, wobei die erste Eindringtiefe beträgt maximal 50 von 100 der zweiten Eindringtiefe beträgt. </p>
申请公布号 EP2398057(A3) 申请公布日期 2013.05.22
申请号 EP20110166656 申请日期 2011.05.19
申请人 SEMIKRON ELEKTRONIK GMBH 发明人 DR. KOENIG, BERNHARD
分类号 H01L29/06;H01L29/36 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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