| 发明名称 |
Magnetic actuator under piezoelectric control |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1424767(B1) |
申请公布日期 |
2013.05.22 |
| 申请号 |
EP20030078751 |
申请日期 |
2003.11.28 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
DE WEERDT, ROBRECHT EMIEL MARIA LEONIA;DAMS, JOHANNES ADRIANUS ANTONIUS THEODORUS |
| 分类号 |
H02N15/00;G03F7/20;H01L41/09;H02K7/12;H02K41/035;H02N2/00;H02N2/02 |
主分类号 |
H02N15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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