发明名称 一种主动减震隔振装置
摘要 本发明公开了一种主动减震隔振装置,通过使用非线性的分数阶天棚阻尼控制技术,将被隔振对象的速度信号转换成天棚阻尼力信号作用于被隔振对象,从而实现被隔振对象的低振动传递率和高衰减率的隔振效果,能提高阻尼控制的鲁棒性,改善减震隔振装置的动力学特性。
申请公布号 CN102235458B 申请公布日期 2013.05.22
申请号 CN201010169749.0 申请日期 2010.05.07
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 吴立伟;陈锐;李志龙
分类号 H01L21/00(2006.01)I;F16F15/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种主动减震隔振装置,其特征在于,包括:基座,其具有振动干扰;隔振平台,与所述基座相对设置并对基座进行减振、隔振;多个隔振执行模块,连接所述基座和所述隔振平台,每一所述隔振执行模块具有可调的阻尼;多个速度传感器,设置在所述隔振平台上,用于得到所述隔振平台的物理轴速度信号;控制模块,用于根据分数阶天棚阻尼控制技术将所述物理轴速度信号调节成物理轴天棚阻尼力信号;以及多个驱动力执行器,连接所述控制模块和所述隔振平台,用于将所述物理轴天棚阻尼力信号作用于所述隔振平台,以对隔振平台进行实时调节和补偿;所述控制模块包括:第一物理轴到逻辑轴转换矩阵单元,用于将所述物理轴速度信号转化为逻辑轴速度信号;多个轴向的分数阶天棚阻尼调节器,用于将所述逻辑轴速度信号转化为逻辑轴天棚阻尼力信号;逻辑轴到物理轴转换矩阵单元,用于将所述逻辑轴天棚阻尼力信号转化为物理轴天棚阻尼力信号。
地址 201203 上海市张东路1525号