发明名称 用于掺杂半导体材料的方法
摘要 根据本发明,将半导体材料的进料(4)置于坩埚(1)中。将包含掺杂剂材料(6)的密封牺牲容器(5)置于所述坩埚(1)内。使所述坩埚(1)的内容物熔融,从而导致所述掺杂剂引入到熔融材料的浴中。在低压下进行升温。
申请公布号 CN103119206A 申请公布日期 2013.05.22
申请号 CN201180039656.9 申请日期 2011.07.01
申请人 阿波朗.索拉尔公司;希尔特罗尼克斯公司 发明人 M.福斯特;E.福尔蒙德;J.斯塔德勒;R.艾恩豪斯;H.劳夫雷
分类号 C30B11/04(2006.01)I 主分类号 C30B11/04(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 宋莉
主权项 用于掺杂半导体材料的方法,特征在于,该方法包括以下步骤:‑提供包含所述半导体材料原料(4)的坩埚(1),‑将掺杂剂材料(6)置于闭合牺牲容器(5)中,该牺牲容器(5)由所述半导体材料形成,‑将该容器(5)放入该坩埚(1)中,‑使该坩埚(1)的内容物熔融。
地址 法国里昂