发明名称 | 用于掺杂半导体材料的方法 | ||
摘要 | 根据本发明,将半导体材料的进料(4)置于坩埚(1)中。将包含掺杂剂材料(6)的密封牺牲容器(5)置于所述坩埚(1)内。使所述坩埚(1)的内容物熔融,从而导致所述掺杂剂引入到熔融材料的浴中。在低压下进行升温。 | ||
申请公布号 | CN103119206A | 申请公布日期 | 2013.05.22 |
申请号 | CN201180039656.9 | 申请日期 | 2011.07.01 |
申请人 | 阿波朗.索拉尔公司;希尔特罗尼克斯公司 | 发明人 | M.福斯特;E.福尔蒙德;J.斯塔德勒;R.艾恩豪斯;H.劳夫雷 |
分类号 | C30B11/04(2006.01)I | 主分类号 | C30B11/04(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 宋莉 |
主权项 | 用于掺杂半导体材料的方法,特征在于,该方法包括以下步骤:‑提供包含所述半导体材料原料(4)的坩埚(1),‑将掺杂剂材料(6)置于闭合牺牲容器(5)中,该牺牲容器(5)由所述半导体材料形成,‑将该容器(5)放入该坩埚(1)中,‑使该坩埚(1)的内容物熔融。 | ||
地址 | 法国里昂 |