基板处理装置和基板传送方法

摘要

根据本发明的一个实施例，基板处理装置包括：并排配置的第一腔室和第二腔室；第一顶杆和第二顶杆，分别设置于所述第一腔室和所述第二腔室的内部，并分别支撑传送在所述第一腔室和所述第二腔室内的第一基板和第二基板；以及搬运机器人，其向所述第一腔室和所述第二腔室内传送所述第一基板和所述第二基板，所述搬运机器人具备第一托板和第二托板，所述第一托板和所述第二托板通过同时升降来分别向所述第一顶杆和所述第二顶杆的上部传送所述第一基板和所述第二基板；所述第一托板和所述第二托板能够移动至移动位置、第一装载位置、第二装载位置；在所述移动位置处，所述第一托板和所述第二托板位于比所述第一顶杆和所述第二顶杆的上端高的位置；在所述第一装载位置处，所述第一托板位于比所述第一顶杆的上端低的位置且所述第二托板位于比所述第二顶杆的上端高的位置；在所述第二装载位置处，所述第一托板和所述第二托板位于比所述第一顶杆和所述第二顶杆的上端低的位置。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，包括：并排配置的第一腔室和第二腔室；第一顶杆和第二顶杆，分别设置于所述第一腔室和所述第二腔室的内部，并分别支撑传送在所述第一腔室和所述第二腔室内的第一基板和第二基板；以及搬运机器人，其向所述第一腔室和所述第二腔室内传送所述第一基板和所述第二基板，所述搬运机器人具备第一托板和第二托板，所述第一托板和所述第二托板通过同时升降来分别向所述第一顶杆和所述第二顶杆的上部传送所述第一基板和所述第二基板，所述第一托板和所述第二托板能够移动至移动位置、第一装载位置、第二装载位置；在所述移动位置处，所述第一托板和所述第二托板位于比所述第一顶杆和所述第二顶杆的上端高的位置；在所述第一装载位置处，所述第一托板位于比所述第一顶杆的上端低的位置且所述第二托板位于比所述第二顶杆的上端高的位置；在所述第二装载位置处，所述第一托板和所述第二托板位于比所述第一顶杆和所述第二顶杆的上端低的位置。