一维微动平台的运动机构

摘要

本发明涉及一种精密工作台，公开了一种一维微动平台的运动机构，包括：呈平面分布的铰链机构和驱动铰链机构的压电驱动器，根据本发明，上述的铰链机构为四个双平行多杆柔性机构A，B，C，D；其中，两个双平行多杆柔性机构A，B相互平行，它们两端的垂直铰链与另外两个双平行多杆柔性机构C，D的中段连接；两个相互平行的双平行多杆柔性机构A，B的中段与压电驱动器连接；两个双平行多杆柔性机构C，D的末端通过螺钉与工作台固定连接。本发明解决了现有技术的微动装置中间部分受力失衡导致位移斜向而使整个装置的平动范围降低的问题，取得了分辨率高、系统刚度强、提高运动范围等有益效果。

主权项

一种一维微动平台的运动机构，包括：呈平面分布的铰链机构和驱动铰链机构的压电驱动器，其特征在于，所述的铰链机构为四个双平行多杆柔性机构A，B，C，D，通过螺栓分别固定在基座上；其中，两个双平行多杆柔性机构A，B相互平行，它们两端的垂直铰链与另外两个双平行多杆柔性机构C，D的中段连接；所述的两个相互平行的双平行多杆柔性机构A，B的中段与压电驱动器连接；两个双平行多杆柔性机构C，D的末端通过螺钉与工作台固定连接。