发明名称 |
抗变形排孔显影喷嘴及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及抗变形排孔显影喷嘴及其制备方法,该喷嘴包括条状的主体、设置在主体内的主流道、与主流道连通用于导入显影液的进液孔、以及与主流道连通用于喷出显影液的若干分流道,所述主体由条状的功能部件和条状的辅助部件组成,所述功能部件沿长边方向设置贯通两个端面的通孔,并在通孔的口部安装堵头围成所述主流道,主流道一侧设置所述若干分流道,主流道另一侧的中部设置进液孔的第一孔部,所述辅助部件通过若干螺钉紧固且贴合在功能部件上与所述分流道相对的一侧,辅助部件设置进液孔的第二孔部,第一孔部和第二孔部共轴。该方法是在加工流道前将辅助部件和功能部件的坏料组合为一体。本喷嘴抗变形能力强,结构简单,易于加工。 |
申请公布号 |
CN103116251A |
申请公布日期 |
2013.05.22 |
申请号 |
CN201310018548.4 |
申请日期 |
2013.01.18 |
申请人 |
清华大学深圳研究生院 |
发明人 |
刘学平;王汉;向东;牟鹏;段广洪 |
分类号 |
G03F7/30(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/30(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市汇力通专利商标代理有限公司 44257 |
代理人 |
李保明;张慧芳 |
主权项 |
一种抗变形排孔显影喷嘴,包括条状的主体(10)、设置在主体内的主流道(10a)、与主流道连通用于导入显影液的进液孔(10b)、以及与主流道连通用于喷出显影液的若干分流道(10c),其特征在于:所述主体(10)由条状的功能部件(2)和条状的辅助部件(1)组成,所述功能部件(2)沿长边方向设置贯通两个端面(2b和2c)的通孔(2a),并在通孔(2a)的口部安装堵头围成所述主流道,主流道一侧设置所述若干分流道(10c),主流道另一侧的中部设置进液孔(10b)的第一孔部(10b1),所述辅助部件(1)通过若干螺钉(3)紧固且贴合在功能部件(2)上与所述分流道相对的一侧,辅助部件设置进液孔(10b)的第二孔部(10b2),第一孔部和第二孔部共轴。 |
地址 |
518055 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区 |