真空旋转动力传输装置

摘要

本发明公开一种真空旋转动力传输装置，其主要是由设置于真空系统的腔壁上的轴套组、穿设于轴套组的旋转轴以及连结并驱动旋转轴的传动组所组成。轴套组的座体具有穿孔可供旋转轴穿设，且在穿孔中对应旋转轴间隔设置有第一轴承组、第二轴承组、密封环及轴封件，轴封件设置于远离真空系统的一侧，且轴封件远离真空系统的一端向中心延伸有一薄片状的唇状突缘，使旋转轴穿过时会将唇状突缘朝远离真空系统的方向扩延且包覆于旋转轴外缘，而能通过大气压力将唇状突缘压抵于旋转轴上，形成阻绝大气进入直空系统的环形屏障，以确保真空系统的真空度。

主权项

一种真空旋转动力传输装置，其包括： 旋转轴，用以传递动力； 轴套组，其具有座体，该座体一端向外延伸有凸缘，以供固定在真空系统的腔壁上，该座体中央具有穿孔，以供该旋转轴穿设，该座体在该穿孔中对应该旋转轴间隔设置有第一轴承组、第二轴承组、至少一个的密封环及轴封件，该第一、二轴承组供承载该旋转轴旋转，并且该轴封件设置于远离凸缘的一侧，且该轴封件远离该凸缘的一端向中心延伸有薄片状的唇状突缘，使该旋转轴穿过时会将该唇状突缘朝远离该凸缘的方向扩延而包覆于该旋转轴外缘； 传动组，其连结于该旋转轴穿出该座体且远离凸缘的一段，以驱动该旋转轴转动。