清洁空气供给装置中的灭菌方法以及清洁空气供给装置

摘要

本发明提供一种清洁空气供给装置，该装置对过滤器的二次侧表面也具有均匀、有效的灭菌能力。该装置具备：预过滤器23，其将从导入空气的空气入口18到输出清洁空气给作业环境的空气供给口21之间依次导入的空气初滤；吸引导入的空气的鼓风机24；调节导入的空气温度的加热器25；药物气体供给装置27；向空气通路内供应药物气体的药物气体吐出装置26；以及过滤自空气供给口21输出的空气以生成清洁空气的高性能过滤器和/或超高性能过滤器41、42。

主权项

清洁空气供给装置中的灭菌方法，其特征在于：是向作业环境中供应清洁空气的清洁空气供给装置中的空气通路的灭菌方法，上述空气通路是具有通过上述作业环境的所述清洁空气入口而将清洁空气供应给上述作业环境的空气供给口的所述清洁空气供给装置的空气通路，将过滤器安装于与上述清洁空气入口相邻的上述空气供给口，向上述空气通路内通入过氧化氢H2O2气体，利用通过上述空气通路供给至上述作业环境的空气流中所供应的上述过氧化氢H2O2气体来对上述过滤器和上述空气通路灭菌。