一种易于检测封装质量的声光器件

摘要

本发明提供了一种易于检测封装质量的声光器件，包括声光介质和换能器，所述声光介质表面镀制有二氧化硅，所述换能器与声光介质相对面镀制有底电极，底电极之上镀制有二氧化硅，底电极和表电极均为透明导电材料，声光介质与换能器在真空条件下通过加压加热键合在一起，再放入高温退火炉中退火，本发明的声光器件采用透明导电材料作为换能器表电极和底电极，从而可以利用红外透射设备或可见光检测设备检测器件键合质量，提高了器件的成品率，从而获得质量稳定的声光器件。

主权项

一种易于检测封装质量的声光器件，包括声光介质和换能器，所述声光介质表面镀制有二氧化硅，所述换能器与声光介质相对面镀制有底电极，底电极之上镀制有二氧化硅，声光介质与换能器在真空条件下通过加压加热方式预键合在一起，再放入真空硅钼炉中退火使二氧化硅完全融合，其特征在于：所述底电极为透明导电材料。