发明名称 | 渗漏检测装置 | ||
摘要 | 渗漏检测装置具有测试入口(10),且包含测试样品的测试室可与之连接。高真空泵(12)在测试气体检测器(11)中产生高真空。初步真空泵(20)包括两个泵级(22,23)。为了对该测试室抽真空,该泵级(22,23)以并联模式运行,使得它们的吸力累加。在实现必要的真空时,该泵级(22,23)串联运行以在测试气体探测器(11)上产生必要的高真空-这是高探测灵敏度所需要的。 | ||
申请公布号 | CN103119413A | 申请公布日期 | 2013.05.22 |
申请号 | CN201180038350.1 | 申请日期 | 2011.07.20 |
申请人 | 英福康有限责任公司 | 发明人 | 乌尔里希·多布勒 |
分类号 | G01M3/20(2006.01)I | 主分类号 | G01M3/20(2006.01)I |
代理机构 | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人 | 张全文 |
主权项 | 一种渗漏检测装置,包括用于连接测试室的测试入口(10),连接至测试气体探测器(11)的高真空泵(12),和包括至少两个泵级(22,23)的预真空泵(20),其特征在于,塞子(25)安装于所述预真空泵的所述泵级(22,23)之间且所述泵级可选择性地串联运行或并联运行。 | ||
地址 | 德国科隆 |