发明名称 渗漏检测装置
摘要 渗漏检测装置具有测试入口(10),且包含测试样品的测试室可与之连接。高真空泵(12)在测试气体检测器(11)中产生高真空。初步真空泵(20)包括两个泵级(22,23)。为了对该测试室抽真空,该泵级(22,23)以并联模式运行,使得它们的吸力累加。在实现必要的真空时,该泵级(22,23)串联运行以在测试气体探测器(11)上产生必要的高真空-这是高探测灵敏度所需要的。
申请公布号 CN103119413A 申请公布日期 2013.05.22
申请号 CN201180038350.1 申请日期 2011.07.20
申请人 英福康有限责任公司 发明人 乌尔里希·多布勒
分类号 G01M3/20(2006.01)I 主分类号 G01M3/20(2006.01)I
代理机构 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人 张全文
主权项 一种渗漏检测装置,包括用于连接测试室的测试入口(10),连接至测试气体探测器(11)的高真空泵(12),和包括至少两个泵级(22,23)的预真空泵(20),其特征在于,塞子(25)安装于所述预真空泵的所述泵级(22,23)之间且所述泵级可选择性地串联运行或并联运行。
地址 德国科隆