液滴沉积装置及用于制造该装置的方法

摘要

一种形成用于液滴沉积装置的部件的方法，包括以下步骤：提供保护材料，以填充流体室，及；将高功率的激光指向部件，以使与相应的过滤室连通的喷嘴的阵列消融。保护材料起到在消融期间阻止对室的壁损坏的作用，诸如阻止对内部钝化涂层或对设置在室的壁上的电极的损坏，并且保护材料可以例如通过用热的溶剂冲洗来除去。

主权项

一种形成用于液滴沉积装置的部件的方法，所述部件包括流体室的阵列，所述方法包括以下步骤：提供保护材料，以至少部分地填充所述室；将至少一个辐射束指向所述部件，以便通过使所述部件消融而形成孔的阵列，每个孔延伸穿过所述部件的一部分以便与相应的室连通，以能够使使用中的流体以待被沉积的液滴的形式穿过所述孔从所述室中释放；其中所述保护材料起到阻止在所述消融期间对所述室的壁的损坏的作用；及除去所述保护材料。