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发明名称 Improvements relating to the treatment of semi-conductor materials
摘要
申请公布号 GB940074(A) 申请公布日期 1963.10.23
申请号 GB19610010086 申请日期 1961.03.20
申请人 ASSOCIATED ELECTRICAL INDUSTRIES LIMITED 发明人 WHITAKER ALFRED
分类号 C23C10/34;H01L21/00 主分类号 C23C10/34
代理机构 代理人
主权项
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