发明名称 |
平面移动靶机构 |
摘要 |
一种平面移动靶机构,它包括框架、往返传动机构、两直线导轨机构、极靴、永磁铁和位于真空箱体内的阴极和靶材,所述的往返传动机构安装在框架的中部,两直线导轨机构分别安装在框架的上下部分,两直线导轨机构上分别装有至少一个滑块,极靴安装在往返传动机构的中部,极靴的上、下两端分别固定在两直线导轨机构的滑块上,永磁铁安装在极靴上,在永磁铁上方的真空箱体底部安装阴极,靶材安装在阴极的上方。本实用新型通过磁场的移动使得放电区内电子跑到扩展,靶材利用可提高到40%-45%。起到节能降本的效果。 |
申请公布号 |
CN202945321U |
申请公布日期 |
2013.05.22 |
申请号 |
CN201220096742.5 |
申请日期 |
2012.03.14 |
申请人 |
无锡康力电子有限公司 |
发明人 |
朱殿荣;曹俊 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
南京天华专利代理有限责任公司 32218 |
代理人 |
夏平 |
主权项 |
一种平面移动靶机构,其特征是它包括框架(1)、往返传动机构(2)、两直线导轨机构(3)、极靴(4)、永磁铁(5)和位于真空箱体(9)内的阴极(6)和靶材(8),所述的往返传动机构(2)安装在框架(1)的中部,两直线导轨机构(3)分别安装在框架(1)的上下部分,两直线导轨机构(3)上分别装有至少一个滑块(10),极靴(4)安装在往返传动机构(2)的中部,极靴(4)的上、下两端分别固定在两直线导轨机构(3)的滑块(10)上,永磁铁(5)安装在极靴(4)上,在永磁铁(5)上方的真空箱体(9)底部安装阴极(6),靶材(8)安装在阴极(6)的上方。 |
地址 |
214253 江苏省无锡市宜兴市新建工业园166号 |