| 摘要 |
<p>이를 위하여, 본 발명은 게이트 전극과, 상기 게이트 전극과 절연막을 사이에 두고 중첩되어 폴리실리콘으로 형성된 활성층과, 상기 활성층 상에 채널 영역을 노출시키며 불순물 도핑된 폴리실리콘으로 형성된 오믹 콘택층과, 상기 오믹 콘택층 상에 각각 형성된 드레인 전극 및 소스 전극과, 상기 활성층 및 오믹 콘택층 사이에 상기 오믹 콘택층과 동일하게 패터닝되어 형성된 에치 스토퍼층을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터와 이를 포함하는 표시 기판 및 이의 제조방법을 제공한다.</p> |
