| 发明名称 | 用于处理物体的设备，尤其用于处理由聚合体制成的物体的表面的设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于处理物体的设备，所述物体例如是由聚合物制成的用于机动车前灯的物体。所述设备包括：用于容纳物体(22)的真空室(12)；用于将真空室(12)置于真空中的装置(24)；和用于处理物体(22)的离子轰击装置(44)，所述离子轰击装置(44)包括离子发生器(46)和用于发射离子束的至少一个离子施加器(48)。该设备还包括：第一气锁(36)；用于在真空室(12)与第一气锁(36)之间建立选择性连通的装置(40)；和用于将第一气锁(36)置于真空中的装置(24)。离子轰击装置(44)布置在真空室(12)的外面。离子施加器(48)容纳在第一气锁(36)内部。 | ||
| 申请公布号 | CN103119195A | 申请公布日期 | 2013.05.22 |
| 申请号 | CN201180045188.6 | 申请日期 | 2011.09.19 |
| 申请人 | 法雷奥照明公司 | 发明人 | 弗瑞德瑞克·莫瑞特;马克·布莱泽尔;艾里克西斯·陈奈特 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01J37/16(2006.01)I;H01J37/18(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张启程 |
| 主权项 | 一种用于处理物体的设备，包括：真空室(12)，所述物体(22)放置在所述真空室中；用于将所述真空室(12)置于真空中的装置(24)；和用于处理所述物体(22)的离子轰击装置(44)，所述离子轰击装置包括离子发生器(46)和用于发射离子束的至少一个离子施加器(48)，其特征在于，所述设备还包括：第一气锁(36)；用于选择性地使所述真空室(12)与所述第一气锁(36)连通的装置(40)；和用于将所述第一气锁(36)置于真空中的装置(24)，所述离子轰击装置(44)布置在所述真空室(12)的外面，并且所述离子施加器(48)容纳在所述第一气锁(36)中。 | ||
| 地址 | 法国波比尼 | ||