一种多焦点激光加工系统

摘要

本发明提供一种多焦点激光加工系统，包括两个或者两个以上依次串联在光路上的光学元件组合以及聚焦镜；入射光束经过两个或者两个以上依次串联在光路上的光学元件组合后再经所述聚焦镜聚焦于作用于待加工工件上的聚焦光束的光轴上的焦点；所述光学元件组合包括分光镜以及凸面镜；入射光束经所述分光镜反射得到进入下一组光学元件组合的第一入射光束；入射光束经所述分光镜透射得到光束经所述凸面镜反射且再经所述分光镜透射得到进入下一组光学元件组合的第二入射光束。应用本发明的技术方案，入射光束通过多焦点激光加工系统后形成多个焦点，焦点的数量为4的倍数，提高加工速度和提高产品质量。

主权项

一种多焦点激光加工系统，其特征在于：包括两个或者两个以上依次串联在光路上的光学元件组合（21）以及聚焦镜（22）；入射光束（5）经过两个或者两个以上依次串联在光路上的光学元件组合（21）后再经所述聚焦镜（22）聚焦于作用于待加工工件（4）上的聚焦光束的光轴上的焦点；所述光学元件组合（21）包括分光镜（211）以及凸面镜（212），入射光束（5）经所述分光镜（211）反射得到进入下一组光学元件组合（21）的第一入射光束（12）；入射光束（5）经所述分光镜（211）透射得到光束经所述凸面镜（212）反射且再经所述分光镜（211）透射得到进入下一组光学元件组合（21）的第二入射光束（14）。