DCS歧化制硅烷的西门子联产工艺

摘要

本发明提供一种DCS歧化制硅烷的西门子联产工艺。在改良西门子法制备多晶硅工艺还原精馏单元(5)后面连接歧化反应单元(6)、硅烷产品精馏单元(7)和二氯二氢硅精馏单元(8)；还原精馏单元（5）得到的高纯二氯二氢硅进入歧化反应单元(6)进行歧化反应，歧化反应生产的硅烷中间产品进入硅烷产品精馏单元(7)，经过精馏提纯得到高纯的硅烷产品，剩余的混合氯硅烷进入二氯二氢硅精馏单元(8)进行回收利用，二氯二氢硅精馏单元(8)分离得到的二氯二氢硅等低沸物返回歧化反应单元(6)继续进行歧化反应，而三氯氢硅和少量四氯化硅返回还原精馏单元(5)进行提纯。本发明实现西门子法制备多晶硅与氯硅烷歧化法制备硅烷的联产，同时物料形成闭路循环，提高了装置的利用率，降低投资成本，又能实现企业产品的多元化。

主权项

DCS歧化制硅烷的西门子联产工艺，其特征是，在改良西门子法制备多晶硅工艺还原精馏单元（5）后面连接歧化反应单元（6）、硅烷产品精馏单元（7）和二氯二氢硅精馏单元（8）；还原精馏单元（5）得到的高纯二氯二氢硅进入歧化反应单元（6）进行歧化反应，歧化反应生产的硅烷中间产品进入硅烷产品精馏单元（7），经过精馏提纯得到高纯的硅烷产品，剩余的氯硅烷则进入二氯二氢硅精馏单元（8）进行回收利用，二氯二氢硅精馏单元分离得到的二氯二氢硅等低沸物返回歧化反应单元（6）继续进行歧化反应，而三氯氢硅和少量的四氯化硅则返回还原精馏单元（5）进行提纯。