发明名称 光学镀膜装置
摘要 本发明涉及一种光学镀膜装置,其包括真空镀膜室、转动轴、基板承载架及蒸镀源。所述基板承载架与所述转动轴连接并设置于所述真空镀膜室顶部,所述蒸镀源设置于所述真空镀膜室底部,一个滑槽环绕所述真空镀膜室内壁设置,基板承载架外边缘延伸一环形凸缘,该环形凸缘伸入所述滑槽内。本发明所提供之光学镀膜装置,由于基板承载架外边缘延伸出一环形凸缘,并伸入真空镀膜室内壁上凹槽内,隔离了基板承载架正反面之空间,所以有效防止镀膜过程中,镀材污染基板承载架背面镜片表面之情况发生,从而改善镜片镀膜品质。
申请公布号 TWI396761 申请公布日期 2013.05.21
申请号 TW097125427 申请日期 2008.07.04
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号 发明人 吴佳颖
分类号 C23C14/22;C23C14/56 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
地址 新北市土城区自由街2号