电阻式随机存取记忆体结构及其制作方法

摘要

一种电阻式随机存取记忆体的制作方法。首先，形成一下电极，接着，于下电极上，形成一电阻层，然后，于电阻层上，形成一上电极，其中上电极系选自下列群组：氧化铟锡以及氧化铟锌，最后以一紫外线照射上电极。