| 摘要 |
本发明有关于一种具自动对焦之表面轮廓测量装置，其包含一干涉仪，干涉仪包含一光源，一分光结构设于光源之一侧并接收光源所发之光线；一干涉结构设于分光结构下方并接收分光结构所传输之光线；一影像感测元件设于分光结构上方并接收分光结构所传输之光线之一影像讯号；一控制电路判断影像讯号之一干涉强度之一最大值，控制电路依据最大值发出一控制讯号；一位移器设于干涉仪之一侧，位移器与控制电路电性相接并接收控制讯号。如此可提升干涉仪对焦时的速度与精度，以节省时间而增加量测效率，更可减少表面轮廓测量装置之生产成本。 |
