发明名称 |
在积体电路中具静电放电防护能力的水平扩散金氧半导体电晶体(LDMOS)元件 |
摘要 |
本发明提供一种具静电放电防护能力的水平扩散金氧半导体电晶体(LDMOS)元件,包括一半导体基底,其上有一磊晶层。一图案化的隔离区设置于该磊晶层上,定义一第一主动区及一第二主动区。一N-型双扩散区设置于该第一主动区中,一N-型浓掺杂汲极区设置于该N-型双扩散区中。一P-型体掺杂区于该第二主动区中,其中该N-型双扩散区和该P-型体掺杂区相隔一特定距离,露出该半导体基底,一对相邻的一N-型和一P-型浓掺杂源极区设置于该P-型体掺杂区中,以及一闸极结构于该N-型浓掺杂源极区和该N-型浓掺杂汲极区之间。一额外的浓掺杂区设置于该半导体基底与该磊晶层的介面之间。 |
申请公布号 |
TWI397180 |
申请公布日期 |
2013.05.21 |
申请号 |
TW097149113 |
申请日期 |
2008.12.17 |
申请人 |
世界先进积体电路股份有限公司 新竹县新竹科学工业园区园区三路123号 |
发明人 |
张义昭 |
分类号 |
H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
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地址 |
新竹县新竹科学工业园区园区三路123号 |