发明名称 在积体电路中具静电放电防护能力的水平扩散金氧半导体电晶体(LDMOS)元件
摘要 本发明提供一种具静电放电防护能力的水平扩散金氧半导体电晶体(LDMOS)元件,包括一半导体基底,其上有一磊晶层。一图案化的隔离区设置于该磊晶层上,定义一第一主动区及一第二主动区。一N-型双扩散区设置于该第一主动区中,一N-型浓掺杂汲极区设置于该N-型双扩散区中。一P-型体掺杂区于该第二主动区中,其中该N-型双扩散区和该P-型体掺杂区相隔一特定距离,露出该半导体基底,一对相邻的一N-型和一P-型浓掺杂源极区设置于该P-型体掺杂区中,以及一闸极结构于该N-型浓掺杂源极区和该N-型浓掺杂汲极区之间。一额外的浓掺杂区设置于该半导体基底与该磊晶层的介面之间。
申请公布号 TWI397180 申请公布日期 2013.05.21
申请号 TW097149113 申请日期 2008.12.17
申请人 世界先进积体电路股份有限公司 新竹县新竹科学工业园区园区三路123号 发明人 张义昭
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 新竹县新竹科学工业园区园区三路123号