坩埚抬升装置及坩埚之取出方法

摘要

本发明系提供一种可容易地将石英玻璃坩埚等从铸模取出之坩埚抬升装置及坩埚之取出方法。;本发明系一种坩埚抬升装置及坩埚之取出方法，其特征在于，该坩埚抬升装置具有：密合于坩埚开口部之盖材；对藉由该盖材所密封之坩埚之内部空间进行减压的机构；及上述盖材之上下移动机构；且该坩埚抬升装置系将内部空间减压之坩埚与盖材一体化地抬升者；例如具有：支架；藉由起重装置而连结之盖材，上述起重装置具有由该支架上端之梁部上下移动之机构；吸引管道，其系通过该盖材而于坩埚内部空间开口者；及连接上述吸引管道之减压装置。