| 摘要 |
[课题]提供一种控制真空容器之内部中之气体流动的技术。;[解决手段]本发明提供一种真空控制系统，其系从气体供给部接收处理气之供给，并使用真空泵控制对处理对象执行处理的真空容器中之处理气的真空压力与流动者。真空控制系统具备：各真空控制阀，系连接在复数气体排出口的各个气体排出口与真空泵之间者；前述复数气体排出口的各个气体排出口在真空容器中系配置在相互不同的位置；压力测量部，系测量供给至处理对象的处理气之真空压力者；及控制装置，系依照所测量的真空压力，操作复数真空控制阀的各个真空控制阀之开度者。 |
