具有整合均流板及改善之传导性的下部内衬件

摘要

一电浆处理腔室具有一下部内衬件，其具有一整合均流板。在一蚀刻制程中，处理气体可不均匀地由处理腔室抽吸，其可导致基板之不均匀蚀刻。该整合均流板系配置成将由该腔室经由该下部内衬件排空之处理气流均流。