溅镀式镀膜承载台及镀膜机台

摘要

本发明涉及一种溅镀式镀膜承载台，其包括：一第一载具及一中空之第二载具。该第一载具包括一承载部及与其相对之底部，该承载部延伸出至少一个突起，该突起具有与待镀元件相配合之形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件之热量传递至第一载具之底部。该第二载具与该第一载具之底部紧密结合，用于吸收该第一载具之底部传递之热量。镀膜时，待镀膜之元件上之热量会通过第一载具传导至该第二载具从而防止待镀膜之元件上之温度过高进而对其造成损伤。本发明还涉及一种溅镀式镀膜机台。