离子植入机及减少离子束杂讯之影响的方法

摘要

一种离子植入机包括离子束产生器，所述离子束产生器经组态以产生离子束且向工件引导离子束，其中离子束与工件之间的相对运动在此工件之前表面上产生扫描图案。扫描图案在此工件之此前表面之至少一部分上具有振荡图案。