| 摘要 |
本发明提供一种沉积材料供应装置及一种包含该沉积材料供应装置之基板处理装置，该沉积材料供应装置用以于不使该有机材料劣化之条件下储存大量有机材料并汽化一所需量之该有机材料至一基板。该沉积材料供应装置包含：一槽，其中一储存空间与一汽化空间互相连通，该储存空间填充有一原材料，该原材料系于该汽化空间中汽化；一运送单元，用以连续地或周期性地运送填充于该储存空间中之该原材料至该汽化空间；一加热单元，设置于该槽之该汽化空间之一外侧，用以供应使该原材料汽化之热量；以及一冷却单元，设置于该储存空间之一外侧，以防止储存于该储存空间中之该原材料出现热劣化。 |
