| 摘要 |
一电流分支电路分别电性耦合至一法拉第杯与一运算放大器。其中，整个法拉第杯、电流分支电路以及运算放大器均为离子布植机的一部分。当法拉第杯因电性藕合至由法拉第杯接收之离子束所形成的导电结构而接地时，一电流将由运算放大器之输出端流至电流分支电路，藉以平衡由电流分支电路通过法拉第杯流至接地处之电位零点之另一电流。藉由动态监测运算放大器之输出端之电压，通过法拉第杯流至地面之电流与导电结构之电阻均可被动态监测。因此，可以动态获得法拉第杯量测之离子束电流与实际布植晶圆之离子束电流之间的差异，然后可以避免过量布植问题。 |
