试料表面检查方法及检查装置

摘要

本发明之课题为提供一种可执行精确度良好的试料表面检查的方法及装置。该试料表面检查方法为利用电子束式试料表面检查装置来检查试料表面的方法，系将从前述试料表面检查装置之电子枪所产生的电子束照射于前述试料表面，且使从前述试料表面所产生的二次电子向着检测器之电子检测面成像以将前述试料表面予以检查，其中，以使前述试料表面之电位因应照射于前述试料表面的电子束之量而变化的方式，将于前述检测器之检测面的前述二次电子之成像条件予以控制。