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<p>엑스-레이 검사장치에서 엑스-레이가 전자부품을 투과할 때 투영되는 영상을 검출하는 엑스-레이 디텍터 및 그것을 구비하는 엑스-레이 검사장치가 개시된다. 본 발명의 엑스-레이 디텍터는, 엑스-레이를 가시광선으로 변환하고 증폭하는 엑스-레이 변환 증폭부; 및 변환 증폭된 가시광선으로부터 영상이 픽셀들의 한 열에서 다음 열로 이동할 때 전하가 누적적으로 축적되어 이동하는 형태로 이송되는 전자부품의 연속 비디오 영상을 검출하는 TDI 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
