摘要 |
Rauheits- oder Oberflächenmikrostrukturprofil-Messgerät zur Messung der Rauheit oder eines Oberflächenmikrostrukturprofils einer Messobjekt-Oberfläche eines Messobjekts (9), enthaltend: einen Oberflächen-Antastkörper (10) zur berührenden oder berührungslosen Erfassung der Rauheit oder des Oberflächenmikrostrukturprofils der Messobjekt-Oberfläche; einen motorisierten oder mit einem Aktor versehenen Vorschub (13, 14, 15, 16) zum Bewegen des Oberflächen-Antastkörpers (10) entlang eines Verfahrweges über eine Abtastweglänge; einen Meßsystemträger (3) mit einem daran befestigten Meßsystem (6) zur Erfassung einer Stellung des Oberflächen-Antastkörpers (10) relativ zu der Messobjekt-Oberfläche; einen Lagerkörper (14) zur Lagerung des Meßsystemträgers (3) und eine Treiber-, Datenerfassungs- und/oder Auswerteelektronik (12) und/oder eine Rechnerschnittstelle, dadurch gekennzeichnet, dass der Meßsystemträger (3) zusammen mit dem Meßsystem (6) in Richtung einer Verschiebeachse relativ zu dem Lagerkörper (14) linear verschiebbar und/oder relativ zu dem Lagerkörper (14) um eine horizontale Achse vertikal drehbar und/oder relativ zu dem Lagerkörper (14) um eine vertikale Achse horizontal drehbar gelagert ist.
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