摘要 |
Rauheits- oder Oberflächenmikrostrukturprofil-Messgerät zur Messung der Rauheit oder eines Oberflächenmikrostrukturprofils einer Messobjekt-Oberfläche eines Messobjekts (9), enthaltend: ein Gehäuse (1); einen Messtaster, der einen Tasthebel (4) umfasst, der im Wesentlichen in dem Gehäuse angeordnet ist oder der vollständig in dem Gehäuse angeordnet ist oder der aus dem Gehäuse (1) herausragt, wobei an dem Tasthebel (4) ein Oberflächen-Antastkörper (10) zur berührenden oder berührungslosen Erfassung der Rauheit oder des Oberflächenmikrostrukturprofils der Messobjekt-Oberfläche befestigt ist; einen motorisierten oder mit einem Aktor versehenen Vorschub zum Bewegen des Oberflächen-Antastkörpers (10) entlang eines Verfahrweges über eine Abtastweglänge; ein Meßsystem (6) zur Erfassung einer Stellung des Oberflächen-Antastkörpers (10) relativ zu der Messobjekt-Oberfläche; und eine Treiber-, Datenerfassungs- und/oder Auswerteelektronik (12) und/oder eine Rechnerschnittstelle, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Gehäuse (1) oder an dem Messtaster oder an einem Schutzkörper (2) zum Schutz des Tasthebels (4) und/oder des Oberflächen-Antastkörpers (10) gegen Beschädigungen, wenigstens ein Abstandsmeßsystem (3) zur Erfassung eines Abstandes zwischen dem Oberflächen-Antastkörper (10) und der Messobjekt-Oberfläche des Messobjekts (9) oder zur Erfassung der räumlichen Lage und/oder Position des Gehäuses (1) oder des Messtasters oder des Schutzkörpers (2) relativ zu der Messobjekt-Oberfläche des Messobjekts (9) befestigt ist.
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