| 摘要 |
<p>씰 부재의 내구 수명을 향상시키는 것이 가능한 피스톤 및 동 피스톤을 구비하는 진공 펌프를 제공하는 것이다. 본 발명의 피스톤(5)은, 피스톤 본체(51)과, 씰 부재(52)와, 씰 부재 고정판(53)과, 체결부 54를 구비한다. 피스톤 본체(51)는, 실린더(6)에 스트로크 가능하게 끼워 넣고, 스트로크 방향에 대해서 수직인 제1 면(51a)를 가진다. 씰 부재(52)는, 제1 면(51a)에 장착되고, 실린더(6)와 피스톤 본체(51) 사이를 씰 한다. 씰 부재 고정판(53)은, 제1 면(51a)에 대향하여 씰 부재(52)에 당접하는 제2 면(53a)과 그 반대측의 제3 면(53b)을 가지고, 제2 면(53a)은 중앙측의 제1 영역(A1)과 주연측의 제2 영역(A2)을 가지고, 제1 영역(A1)은 씰 부재(52)를 제1 누름 압력으로 압압하고, 제2 영역(A2)은 씰 부재(52)를 제1 누름 압력 보다 큰 제2 누름 압력으로 압압한다.</p> |
