ROBE UNIT FOR INTEGRATED CIRCUIT CONTACT AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
摘要
<p>본 발명에 의한 집적회로 접촉 프로브 유닛은 프로브 블럭; 상기 프로브 블럭에 고정되고, 피검사체의 패드에 직접 접촉하는 제1전극부와, 구동IC와, 제2전극부를 포함하는 집적회로 필름부; 및 상기 제2전극부에 전기적으로 연결되는 연성회로기판;을 포함하며, 상기 제1전극부의 전극들이 상기 패드의 전극들에 접촉할 수 있도록 상기 제1전극부의 전극 피치가 확장된 것을 특징으로 한다.</p>
