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Rauheits- oder Oberflächenmikrostrukturprofil-Messgerät zur Messung der Rauheit oder eines Oberflächenmikrostrukturprofils einer Messobjekt-Oberfläche eines Messobjekts (9), enthaltend: einen an einem Tasthebel (4) befestigten Oberflächen-Antastkörper (10) zur berührenden oder berührungslosen Erfassung der Rauheit oder des Oberflächenmikrostrukturprofils der Messobjekt-Oberfläche; einen motorisierten oder mit einem Aktor versehenen Vorschub zum Bewegen des Oberflächen-Antastkörpers (10) entlang eines Verfahrweges über eine Abtastweglänge; ein Meßsystem (6) zur Erfassung einer Stellung des Oberflächen-Antastkörpers (10) relativ zu der Messobjekt-Oberfläche; und eine Treiber-, Datenerfassungs- und/oder Auswerteelektronik (12) und/oder eine Rechnerschnittstelle, dadurch gekennzeichnet, dass ein sich mit einer Referenz-Oberfläche über die Abtastweglänge oder einen Teil der Abtastweglänge erstreckendes Referenzprofil (3) an einem Trägerelement angebracht ist und dass ein Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) zum Abtasten der Referenz-Oberfläche des Referenzprofils (3) vorgesehen ist.
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