| 摘要 |
<p>본 발명은 광학적인 방법에 의하여 반사체의 위치를 추적하는 장치에 대한 것이다. 반사체의 추적을 위한 레이저 빔이 빛살분리기에 의해 둘로 나뉘어져, 각각 회전 반사경들에 의해 펜에 비추어지고, 반사체와 회전반사경들과 이루어진 각도를 사용하여 반사체의 위치를 찾아내는 장치에 관한 것이다. 더 상세하게는 이미지센서에 의해 반사체의 개략적인 위치를 추적한 후 레이저빔의 간섭무늬의 이동을 검사하여 수직 수평 이동을 정밀하게 측정하는 장치에 관한 것이다.</p> |
