Device for transferring substrate

摘要

본 발명에 의하면, 얼라인부가 틸팅부의 승강구동에 의해 함께 구동되므로 기판의 틸팅 및 얼라인을 위한 구성부품이 간소화되는 효과가 있다. 또한 본 발명은, 얼라인부를 구동하기 위한 공압실린더 등의 구동수단이 생략가능하므로 베스 내부를 오염시키지 않고 청정도를 유지시키는 효과가 있다.