PROCEDIMIENTO DE CONTROL DE UN MICROSCOPIO DE BARRIDO

摘要

Procedimiento de control de un microscopio de barrido. Procedimiento de control con al menos dos lazos de control para un microscopio de barrido provisto de una micropalanca y un actuador adaptado para excitar la micropalanca, donde un primer lazo mantiene como variable controlada la amplitud de oscilación de la micropalanca y como variable manipulada la amplitud de la señal eléctrica introducida en el actuador y un segundo lazo usa como variable controlada amplitud de la señal eléctrica anterior y como variable manipulada la distancia punta-muestra. Gracias a este procedimiento es posible ignorar cambios de signo en la interacción punta-muestra.