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发明名称
Plasma reactor and and gas scrubber using the same
摘要
<p>본 발명에 따른 플라즈마 반응기 및 이를 이용한 가스스크러버는 플라즈마가 형성되는 방전아우터바디(32) 내부에 자기력을 발생시키는 자기력발생유닛(40)이 배치되고 상기 자기력발생유닛(40)이 쿨러(44)에 의해 냉각됨으로서 고온으로 형성되는 방전아우터바디(32) 내부에서도 자기력을 효과적으로 발생시키는 효과가 있다.</p>
申请公布号
KR101265818(B1)
申请公布日期
2013.05.20
申请号
KR20110113497
申请日期
2011.11.02
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H05H1/46
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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