| 摘要 |
<p>개시된 본 발명은 기판과의 접촉성이 향상된 스탬프(Stamp)의 제조 방법을 제공하고, 상기 스탬프를 이용하여 기판 상에 대전된 영역을 만든 후 상기 대전 영역의 성분과 반대 전하로 대전된 나노 물질을 도포 또는 도금시켜 자기-조립(self-assembled)을 통해 자기조립 단층막(SAM;self-assembled monolayer)을 형성함으로써 정밀한 나노 패턴을 갖는 박막트랜지스터 및 액정표시장치의 제조 방법을 제공하고, 이를 통해 소자의 성능을 향상시킬 수 있다.</p> |
