发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION USING N,O POLYDENTATE LIGAND COMPLEXES OF METALS |
摘要 |
Complexes of metals and N,O polydentate ligands are useful as precursors in the preparation of doped zinc oxide coatings by chemical vapor deposition.
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申请公布号 |
US2013122192(A1) |
申请公布日期 |
2013.05.16 |
申请号 |
US201013377858 |
申请日期 |
2010.06.09 |
申请人 |
BLUHM MARTIN E.;SILVERMAN GARY S.;KOROTKOV ROMAN Y.;ARKEMA INC. |
发明人 |
BLUHM MARTIN E.;SILVERMAN GARY S.;KOROTKOV ROMAN Y. |
分类号 |
C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/40 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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