摘要 |
Hohlblöcke aus transparentem synthetischem Kieselglas mit einem Außendurchmesser von mehr als 400 mm und einem Innendurchmesser von mehr als 300 mm werden offenbart. Die Blöcke sind im Wesentlichen frei von Blasen oder Einschlüssen, die einen Durchmesser von mehr als 100 μm aufweisen, haben nicht mehr als 100 ppb individuelle metallische Verunreinigungen und haben eine Chlorkonzentration von weniger als 5 ppm. Ferner werden Verfahren zum Herstellen solcher Blöcke offenbart, in denen ein poröser Rußkörper mit einer Dichte von mehr als 0,4 g/cm3 auf einen oxidationsbeständigen Dorn abgeschieden wird. Der Rußkörper wird auf einem Dorn, der Graphit, kohlenstofffaserverstärkten Kohlenstoff, Siliciumcarbid, siliciumimprägniertes Siliciumcarbid, siliciumcarbidbeschichteten Graphit oder Kieselglas umfasst, entweder unter einem Vakuum oder in Gegenwart eines reduzierenden Gases dehydriert und danach unter einem Vakuum oder in einer Heliumatmosphäre zu einem transparenten porenfreien Glas gesintert. |