Apparatus And Method of Fabricating Thin Film Pattern
摘要
<p>본 발명은 블랭킷이 감겨진 롤 형태의 인쇄롤러장치와; 상기 인쇄롤러장치 주변에 위치하여 상기 블랭킷에 에치 레지스트 용액을 분사하는 분사장치와; 원하는 박막 형태의 홈과 상기 홈을 제외한 돌출부가 형성된 음각형태의 인쇄판을 구비하고, 상기 에치 레지스트 용액은 에틸렌 옥사이드 플루오리네이티드 폴리머(Ethylene Oxide fluorinated polymer) 계열의 물질을 포함하는 계면활성제를 포함한다.</p>
