发明名称 Röntgenstrahlintensitätskorrekturverfahren und Röntgenstrahldiffrektometer
摘要 <p>Ein Röntgenstrahlkorrekturverfahren, das in der Lage ist den Hintergrund einheitlich zum Zeitpunkt der Messung durch einfaches Einstellen eines Rasterelements zu machen und ein Röntgenstrahldiffraktometer werden zur Verfügung gestellt. Das Röntgenstrahlintensitätskorrekturverfahren ist ein Verfahren zum Korrigieren der Intensität der gebeugten Röntgenstrahlen, aufweisend die Schritte des Fokussierens der Röntgenstrahlen an einer Probe zur Korrektur, die an einem Goniozentrum S0 angeordnet wird, Eintreten der fluoreszierenden Röntgenstrahlen, die von den fokussierten Röntgenstrahlen angeregt wurden, in ein Rasterelement 10, das durch Polykapillare ausgebildet wird und einen einzigen Fokuspunkt aufweist und Erfassen der fluoreszierenden Röntgenstrahlen, die durch das Rasterelement 10 hindurchgetreten sind; und Einstellen der Anordnung des Rasterelements 10, so dass die fluoreszierenden Röntgenstrahlen unabhängig von der Erfassungsposition einheitlich erfasst werden können. Da die fluoreszierenden Röntgenstrahlen zum Zeitpunkt der Einstellung verwendet werden, ist es möglich, die Position des Rasterelements 10 durch Verwenden des Umstands, dass, falls der Fokuspunkt des Rasterelements 10 sich mit dem Goniozenturm deckt, die Intensität unabhängig von der erfassten Position einheitlich wird, einzustellen. Daher ist es möglich, einfach das Rasterelement gemäß einer optimalen Position einzustellen und den Hintergrund zum Zeitpunkt der Messung einheitlich zu machen.</p>
申请公布号 DE102012220235(A1) 申请公布日期 2013.05.16
申请号 DE201210220235 申请日期 2012.11.07
申请人 RIGAKU CORPORATION 发明人 MITSUNAGA, TORU;INABA, KATSUHIKO;OMOTE, KAZUHIKO
分类号 G01N23/20;G01N23/223 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
主权项
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