CHUCK FOR EXPOSING AND METHOD FOR FABRICATING OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE
摘要
<p>본 발명은 노광광 반사에 의한 얼룩불량을 개선할 수 있는 노광용 척에 관한 것으로, 기판을 로딩하기 위한 리프트바(lift-bar)와, 기판이 올려진 리프트바를 안착시키기 위한 리프트바안착부 및 리프트바가 안착부에 진입하여, 기판이 리프트바로부터 분리됨에 따라, 기판을 지지하는 기판로딩부를 포함하여 구성되며, 상기 기판과 접촉하는 리프트바의 표면이 요철을 가지는 노광용 척을 제공한다.</p>
