| 摘要 |
<p>본 발명은 스토커 내부의 카세트 보관용 셀프를 이동 가능하게 하고 이중으로 설치함으로써 랙 마스터의 반송 효율 및 공간 보관 효율을 상승시키도록 한 카세트 저장용 스토커에 관한 것으로서, 다수개의 기판이 수납된 카세트와, 상기 카세트를 로딩 또는 언로딩하도록 좌우로 이동이 가능한 랙 마스터와, 상기 랙 마스터에 의해 로딩된 카세트를 보관하며 상기 랙 마스터의 일측에 이동이 가능하게 구성되는 제 1 쉘프 및 상기 제 1 쉘프와 일정한 간격을 갖고 고정되며 상기 제1 쉘프의 후단에 제1 쉘프와 마주보도록 형성된 제 2 쉘프와, 상기 랙 마스터가 이동되는 제1 이동 레일과; 상기 제 1 쉘프의 하단에 구성되는 이동 수단과; 상기 제2 쉘프의 길이 방향과 평행하도록 배치되며 상기 제1 쉘프가 이동되는 제2 이동 레일을 구비하며, 상기 제1 쉘프는 상기 제2 이동 레일을 따라 좌우로 이동이 가능하게 구성되는 것을 특징으로 한다.</p> |
